
無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司工藝?yán)鋮s系統(tǒng)Chiller憑借其高精度、寬溫域、快速響應(yīng)和定制化能力,在多個(gè)對溫度控制要求嚴(yán)苛的行業(yè)中表現(xiàn)尤為突出。

一、半導(dǎo)體與集成電路制造(核心優(yōu)勢領(lǐng)域)
應(yīng)用場景:
晶圓前道:光刻、刻蝕(Etch)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、離子注入、退火、CMP等;
封裝測試:晶圓級封裝(WLP)、高溫老化(HTOL)、溫度循環(huán)測試(TCT);
設(shè)備配套:為刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、激光退火系統(tǒng)提供ESC(靜電吸盤)溫控。
突出表現(xiàn):
控溫精度達(dá) ±0.01℃ ~ ±0.1℃;
支持 -20℃ ~ +200℃ 快速切換,滿足優(yōu)良制程熱管理需求;
全密閉系統(tǒng)避免冷卻液污染環(huán)境;
行業(yè)地位:國產(chǎn)半導(dǎo)體溫控設(shè)備供應(yīng)商之一,是國際品牌的替代選擇。
二、新能源(鋰電 & 光伏 & 氫能)
鋰電池制造:
材料共沉淀反應(yīng)控溫(50~60℃恒溫);
電池模組高低溫性能測試(-40℃~85℃);
固態(tài)電池?zé)Y(jié)工藝中的程序升降溫控制。
光伏與氫能:
HJT異質(zhì)結(jié)電池PECVD腔體冷卻;
質(zhì)子交換膜(PEM)電解槽熱管理;
氫燃料電池板測試平臺溫控。
優(yōu)勢:
高可靠性支持7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行;
可選防爆機(jī)型,適配電解液、氫氣等危險(xiǎn)環(huán)境。
三、生物醫(yī)藥與制藥工程
典型應(yīng)用:
高活性藥物(HPAPI)合成中的強(qiáng)放熱反應(yīng)控溫;
凍干(Lyophilization)預(yù)冷階段;
熔融結(jié)晶工藝(控制晶型與粒徑);
生物反應(yīng)器夾套冷卻。
合規(guī)性支持:
提供兼容設(shè)計(jì);
四、精細(xì)化工與新材料合成
適用工藝:
聚酰亞胺(PI)、環(huán)氧樹脂、聚氨酯等聚合反應(yīng);
連續(xù)流微反應(yīng)器溫控;
納米材料水熱/溶劑熱合成;
特種涂料固化過程控溫。
技術(shù)亮點(diǎn):
支持 200~300℃高溫導(dǎo)熱油循環(huán);
全密閉系統(tǒng)防止高溫氧化,延長介質(zhì)壽命;
可集成緊急冷卻功能,應(yīng)對失控反應(yīng)。
五、航空航天與裝備制造
應(yīng)用場景:
碳纖維復(fù)合材料熱壓罐輔助控溫;
衛(wèi)星光學(xué)載荷熱真空試驗(yàn);
高功率激光器(光纖/CO?)冷卻;
發(fā)動機(jī)部件熱疲勞測試。
優(yōu)勢:
寬溫域(-120℃~300℃)覆蓋嚴(yán)苛工況;
模塊化設(shè)計(jì)便于集成到大型測試臺架;
支持多通道獨(dú)立控溫,模擬復(fù)雜熱場。
六、科研與高校實(shí)驗(yàn)室
典型用戶:
各研究所高校;
實(shí)驗(yàn)室(如微電子、量子信息、材料科學(xué))。
設(shè)備特點(diǎn):
噪音低,適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境;
小型化機(jī)型桌面可用。
工藝?yán)鋮s系統(tǒng)Chiller并非“通用冷水機(jī)",而是面向“高技術(shù)門檻、高附加值、高可靠性"場景的專業(yè)溫控解決方案提供商。如您所在行業(yè)有特定溫控挑戰(zhàn),冠亞通常能提供針對性控